お問合せプライバシーポリシーサイトマップ
アドバンスト・テクノロジー・プログラム(ATP) 材料化学(3月27日・28日開催)
T1.超ファインパターン形成技術・材料の最前線
  • A.EUVリソグラフィ
  • B.ナノインプリント

セッションオーガナイザー:田川精一(阪大産研・教授)
松井真二(兵庫県大高度産業科学技術研・教授)

現在の情報化社会を支える半導体製造分野では、微細化(高集積化)のための露光源の短波長化が推し進められ、波長193 nmのArFエキシマレーザーと液浸技術を組み合わせた液浸リソグラフィの次はExtreme Ultraviolet (EUV, 13.5 nm)光が露光源として期待されている。露光源の短波長化は高エネルギー化を意味し、EUVでは材料のイオン化エネルギーを越え、電離放射線領域に入るため材料化学の観点から新たな展開が求められている。さらに、過去半世紀の光リソグラフィ開発の流れとは一線を画するナノインプリント技術が近年注目を集めているが、ナノインプリント技術は、EUVリソグラフィを含め従来型のリソグラフィが制御に苦労しているラインエッジラフネス(LER)と呼ばれるパターンのナノ形状の制御において優位性を持ち今後の発展が期待されている。これらの微細加工技術を材料面から見たときに、両技術とも従来型の材料から大きな飛躍があり、今後の展開が興味深い。

「EUVリソグラフィ」のセッションでは、現在実用化されている液浸露光技術やダブルパターニング技術の紹介も織り込みながら、「超ファインパターン形成技術」の全体像を概説する。さらにレジスト材料を中心に、EUVリソグラフィ開発の最先端の取り組みを紹介する。EUVリソグラフィ用材料に課せられている要求は、感度、解像度、LERの制御のすべてにおいて、材料の極限に迫るものである。ここにおいて像形性反応が分子の選択的電子励起から開始されていた従来の材料から、非選択的イオン化を中心とした新しい材料が求められ、ブレークスルーが期待される本分野の将来について活発に議論する場を提供したい。

「ナノインプリント」のセッションでは、これまでの半導体リソグラフィプロセスとは全く異なる超ファインパターン形成技術であるナノインプリントの材料・プロセス・装置の最近の進展とデバイス応用展開について紹介する。まず、ナノインプリント研究の世界的動向について紹介し、材料・プロセスの研究開発最前線、量産化装置開発の現状、さらに量産化が、確実視されているパターンドメディア等への応用事例について、紹介し、本分野の現状と将来について活発に議論する場を提供したい。

  • EUVリソグラフィ
    • 基調講演 EUVリソグラフィ開発の現状(半導体先端テクノロジーズ・研究部長)森 一朗
    • 招待講演 EUVレジスト材料・プロセス開発状況(半導体先端テクノロジーズ・グループリーダー)井谷 俊郎
    • 招待講演 EUVレジスト中での潜像形成機構の研究(阪大産研・准教授)古澤孝弘
    • 招待講演 JSRにおけるEUVリソグラフィー材料の開発(仮題)(JSR半導体材料研究所・所長)下川 努
    • 招待講演 富士フイルムにおけるEUVレジスト材料開発の取組み(富士フイルム・研究担当部長)大島 直人
    • 招待講演 東京応化工業のEUV材料開発(東京応化工業・部長)小野寺 純一
    • 依頼講演 新規低分子化合物を用いた高感度分子レジストの開発(東芝研究開発センター・東芝セミコンダクター社)○服部 繁樹・斎藤 聡・浅川 鋼児・小柴 健・中杉 哲郎
    • 依頼講演 ArFダブルパターニング用ネガ画像形成材料開発(富士フイルム・主任研究員)樽谷 晋司
    • 依頼講演 32nmノード以降に向けたダブルパターニング材料開発(JSR半導体材料研究所・副主任研究員)藤原 考一
  • ナノインプリント
    • 基調講演 世界におけるナノインプリント技術開発動向 (兵庫県大高度産業科学技術研・教授) 松井 真二
    • 招待講演 ナノインプリントにおける樹脂成型過程と樹脂特性 (阪府大院工・教授) 平井義彦
    • 招待講演 光ナノインプリントリソグラフィ (産総研先進製造プロセス・主任研究員) 廣島 洋
    • 招待講演 高分子ブロック共重合体薄膜の化学的自己組織化制御による微細パターン形成 (日立材料研・京大院工・日立GSTサンノゼリーチ) ○吉田 博史・多田 靖彦・赤坂 哲・Ricardo, Ruiz・Elizabeth, Dobisz・Dan, Kercher・竹中 幹人・長谷川 博一・Thomas R. Albrecht
    • 招待講演 ナノインプリントプロセスの実用化展開(プロセス装置の現状と課題)(東芝機械微細転写事業部・事業部長/微細転写技術部長)後藤博史
    • 依頼講演 東京応化のナノインプリント材料(東京応化工業先端材料開発二部・課長)高木 利哉
    • 依頼講演 光ナノインプリント用石英モールド(HOYAR&Dセンター・センター長)流川 治
    • 依頼講演 ナノインプリント用モールドの作製例(NTT-ATナノファブリケーション営業部・営業部長)出口 公吉
    • 依頼講演 UVナノインプリント材料(ダイセル化学工業有機合成カンパニー)○三宅弘人・湯川隆生・伊吉就三

T2.ディスプレイ用材料の開発最前線
  • A.フラットパネルディスプレイ
  • B.OLED
  • C.電子ペーパー

セッションオーガナイザー:下平美文(静岡大院創造科学技術研究部・教授)
村田英幸(北陸先端大マテリアル・准教授)
小林範久(千葉大院融合科学・教授)

ディスプレイに関する技術革新は著しく、ディスプレイ市場の構造は激しく変わりつつある。中でも液晶ディスプレイ(LCD)、プラズマディスプレイ(PDP)などのフラットパネルディスプレイは、中核の商品として市場拡大を続けている。さらに、次世代FPDとして有機EL(OLED)などの研究開発も活発に行われ、新しい商品が期待されている。また、従来の紙媒体の代替として、また曲げられるディスプレイとして「電子ペーパー」「フレキシブルディスプレイ」の研究も活発に実施され、様々な方式が提案され、一部は製品としてすでに上市されるに至っている。

本セッションでは、フラットパネルディスプレイ(LCD、PDP、FEDなど)、OLED、電子ペーパーの3つのサブセッションを設け、各ディスプレイの現状と技術課題、さらにそれらを支えるデバイスや部材、素材である各種の有機、無機、高分子材料の最新技術などの動向を、招待講演、依頼講演にて発表していただき、討論する。革新的な技術の創生に向けた議論の場を提供すべく、新技術の芽となるものから実用技術の最新動向まで、広くテーマを募集する。

  • フラットパネルディスプレイ
    • 招待講演 高画質ディスプレイのための快適画像変換処理(千葉大産学連携知的財産機構・技術移転アソシエイト/元千葉大教授)小寺 宏嘩
    • 依頼講演 LCDの最新開発動向と今後の展開(シャープ研究開発本部・副本部長)石井 裕
    • 依頼講演 FEDの開発動向(仮題)(静岡大電子工学研究所・教授)三村 秀典
    • 依頼講演 PDPの最新開発動向と今後の展開(仮題)(パナソニックAVCネットワークス社映像DD事業グループPDPデバイスBUPDPモジュール技術G・高画質担当参事)川原 功
    • 依頼講演 プラスチックフィルム基材を用いたロール状TFT基板(次世代モバイル用表示材料研究組合研究部・部長研究員)江口 敏正
    • 依頼講演 LCD用光学フィルムの開発動向と今後の展開(日東電工オプティカル事業本部・技術開発部門長)大須賀 達也
    OLED
    • 基調講演 有機発光材料の分子設計とその励起状態の挙動(筑波大・名誉教授)徳丸 克己
    • 招待講演 有機エレクトロニクスにおける界面電子構造 (千葉大先進科学センター・教授) 石井久夫
    • 招待講演 強発光性遷移金属錯体の光物性の解析と予測(富山大院理工・教授) 野崎 浩一
    • 招待講演 有機EL素子の光学シミュレーション解析と光取り出し向上化技術(金沢工大工・教授)三上 明義
    • 招待講演 デバイスシミュレーションによる有機EL電気伝導解析 (九大院システム情報・准教授)服部 励治
    • 依頼講演 有機EL素子用新規青色および緑色燐光材料の開発(富士フイルム・主任研究員)伊勢 俊大
    • 依頼講演 高効率・長寿命有機EL 実現への挑戦(出光興産)岩隈 俊裕
    • 依頼講演 低消費電力、長寿命を達成する新規電子輸送材料(東ソー・相模中研)○田中 剛・相原 秀典
    • 依頼講演 2層発光構造によるリン光有機EL素子の高効率化(NHK放送技術研究所)○深川弘彦・時任静士
    • 依頼講演 有機アモルファス膜中における分子の平行配向とデバイス特性への影響(九大未来化学創造センター・ジェー・エー・ウーラム・ジャパン)○横山 大輔・坂口 明生・鈴木 道夫・安達 千波矢
    • 依頼講演 有機ELのラマン・赤外分光分析(早大先進理工・教授)古川 行夫
    • 依頼講演 有機ELの電荷輸送解析(京大化研)梶 弘典
    • 依頼講演 インピーダンス分光による多層系有機EL素子のキャリア挙動解析(富士フイルム・研究員)小川 恭平
    • 依頼講演 有機材料の消費量を大幅に削減した蒸着装置(アルバック)○藤本 弘・中村 寿光・越田 達彦・平岩 秀行・根岸 敏夫
    • 依頼講演 有機EL製造技術の現状と今後(トッキ)松本 栄一
    • 依頼講演 有機薄膜のキャリア注入・輸送機構(北陸先端大マテリアルサイエンス)○松島 敏則・金 光赫・金井 喜洋・北田 聖親・貴志 壽之・横田 知之・村田 英幸
    • 依頼講演 大型有機ELディスプレイに向けた白色有機ELの最新技術(コダックOLEDシステムズ事業部・事業部長)米田 清
    • 依頼講演 東レの有機EL材料開発(東レ電子情報材料研究所)田中 大作
    • 依頼講演 高分子有機EL技術(シャープ・奈良先端大)○向殿 充浩・山本 恵美・内田 秀樹・三ツ井 精一
    • 依頼講演 ノズルプリンターによる有機EL塗布技術(大日本スクリーン製造)阿部 誠
    電子ペーパー
    • 招待講演 電子ペーパーの現状と将来展望 (大日本印刷研究開発・事業化推進本部)高橋 達見
    • 招待講演 電子ペーパーの技術開発・商品化の現在と将来(E-ink)桑田 良輔
    • 招待講演 電子ペーパー用高分子微粒子の新展開(山形大院理工・教授)川口 正剛
    • 依頼講演 読みやすい電子ペーパーをめざして(東海大工)面谷 信
    • 依頼講演 電子粉流体を用いた電子ペーパーQR-LPD(ブリヂストン電子ディスプレイ開発室)増田 善友
    • 依頼講演 電子ペーパーの色の見え(千葉大院融合科学・教授)矢口 博久
    • 依頼講演 書写・印刷材料としての紙の保存(紙の博物館・部長)辻本 直彦
    • 依頼講演 エレクトロクロミズムを利用した表示素子(産総研ナノテク・山形大理)○川本 徹・田中 寿・栗原正人・坂本 正臣
    • 依頼講演 カラー光アドレス電子ペーパー(富士ゼロックス研究技術開発本部)原田 陽雄

T3.光学材料の開発最前線
  • A.有機系光学材料
  • B.ポリマー光学材料
  • C.無機系光学材料

セッションオーガナイザー:横山士吉(九大先導研・教授)
小池康博(慶應大理工・教授)
西井準治(産総研光技術研究部門・主幹研究員)

光学材料開発の進展は近年目覚ましいものがあり、光変調素子、光スイッチ素子、受・発光素子、光ファイバ、光導波路、ディスプレー、情報処理用分子素子など、実用化に向けた開発とともに、これらの高性能化に向けた研究開発が進められている。この背景には、マルチメディア社会の進展に対応するため、光を用いた、あるいは光と電気と併用した各種信号の伝送・処理の必要性が高まっていることがある。無機材料においては、多くの実用機器が開発され高速・大容量の情報通信を実現しており、今後もますます、高性能化が期待されている。

一方、有機・高分子材料に関しては、近年の飛躍的な電気光学特性の向上とスイッチングの高速性が報告されているように、未来技術として材料・デバイスの両側面から研究が活発に進められている。さらには有機・無機ハイブリッド材料においても広く検討がなされている。またバルクでの光学特性からナノレベルでの光学特性の活用も図られており、フォトニクス結晶に関する研究などが進められている。

本セッションではこのような広い意味での情報伝送・処理用光学材料・電気光学材料について、最先端の研究開発を行っている方々の招待講演、依頼講演をもとに、本分野の現状と将来について議論できる場を提供する。

  • 有機系光学材料
    • 招待講演 液晶フォトニックデバイス(東工大院理工)○竹添 秀男・荒岡 史人
    • 招待講演 高速液晶材料の現状と将来展望(九大先導研・教授)菊池 裕嗣
    • 招待講演 有機・高分子材料による自己組織化フォトニック結晶と光デバイスへの展開(物材機構光材料センター・研究員)古海 誓一
    • 招待講演 フォトニクスポリマーの新展開−Fiber-To-The-Display−(慶應大理工・教授)小池 康博
    • 依頼講演 高真空中時間相関単-光子検出系と単-発光体蛍光挙動解析(情報通信研究機構)○山田 俊樹・合志 賢一・大友 明
    ポリマー光学材料
    • 基調講演 電気光学ポリマーへの期待と可能性(東北大・名誉教授)戒能 俊邦
    • 招待講演 Recent Development of Optical Polymeric Material(Polytechnic Institute of NYU・Research Professor)岡本 善之
    • 招待講演 非接触光書き込みによる表示システムの開発(理研和田超分子科学研究室・主任研究員)和田 達夫
    • 招待講演 ポリマ光導波路の開発と光インターコネクション技術への展開(日本電気ナノエレクトロニクス研究所) ○中野 嘉一郎・前田 勝美・古宇田 光・蔵田 和彦
    無機系光学材料
    • 招待講演 ポリシラザンを前駆体とするシリカ薄膜および有機・無機ハイブリッド薄膜の作製と性質(関西大化学生命工)○幸塚 広光・山野 晃裕・川村 貴紀・藤田 真大
    • 招待講演 光機能性を有する金属カルコゲナイド-ナノ結晶の開発(奈良先端大物質創成科学・教授)河合 壯
    • 招待講演 液相法を用いて作製された光多重散乱媒体での光の閉じ込め・増幅機能の創出(京大院工・准教授)藤田 晃司
    • 招待講演 ゲル化窒化合成した酸窒化物系光機能材料(北大院工・教授)吉川 信一
    • 依頼講演 反射防止レンズ向けガラスインプリント用光学ガラスの開発(日本山村硝子・産総研)○中村 淳一・北村 直之・西井 準治
    • 依頼講演 球状単分散セラミックスナノ粒子の合成(産総研)○松原 一郎・伊豆 典哉・伊藤 敏雄
    • 依頼講演 機能性結晶化ファイバの開発とその応用(旭硝子・主席)大原 盛輝
    • 依頼講演 自動車用IRカットガラスの開発(セントラル硝子・主任研究員)公文 創一

T4.プリント・ストレージ用材料の開発最前線
  • A.インクジェット材料
  • B.ホログラフィックメモリー材料

セッションオーガナイザー:小関健一(千葉大工・准教授)
志村 努(東大生産研・教授)

染料・顔料による写真等の画像出力だけではないインクジェットのプリンティング技術はデジタルファブリケーションとしても注目されている。

大容量のストレージ技術としてはブルーレイディスク製品以後の新しい光メモリー材料や方式についての関心も高まってきている。これらの技術やプロセスの革新や材料の相互作用や挙動に関しても新たなアプリケーションに向けた技術開発の話題が求められている。

本セッションでは基礎研究から製品化だけではなく、将来構想までの幅広い技術に関して、招待講演、依頼講演を元に、本技術分野の将来について議論を行いたい。

  • インクジェット材料
    • 基調講演 インクジェット技術のエレクトロニクス応用関連(ICTECH corporation)寺内 健一
    • 招待講演 ナノペーストのエレフトロニクス分野への応用(ハリマ化成)上田 雅行
    • 招待講演 カチオン重合反応を用いたUV硬化型インクジェットインクの開発(コニカミノルタIJ)○朝武 敦・仲島 厚志・木田 修二
    • 招待講演 マイクロ液滴技術(セイコーエプソン)酒井 真理
    ホログラフィックメモリー材料
    • 基調講演 ホログラフィの原理と応用(日大理工・教授)吉川 浩
    • 招待講演 ホログラムアプリケーションとその新しい展開(凸版印刷総合研究所光学部材研究所)高橋 進
    • 招待講演 ホログラフィックメモリー記録材料への要求と評価法(東大生産研)志村 努
    • 招待講演 講演者選定中

T5.未来材料
  • A.先端機能材料
  • B.ナノ触媒材料
  • C.生体模倣触媒

セッションオーガナイザー:細野秀雄(東工大フロンティア研究センター・教授)
増田秀樹(名工大院工・教授)

A.先端機能材料

ナノサイエンスやナノテクノロジーの進展によって、化学、物理、生物という学問分野の壁が低くなりつつある。材料の分野においても、セラミックス、ポリマー、金属という伝統的な分類を超えた試みの中から、物質科学のブレークスルーを伴う、新しいコンセプトの材料を創り、社会の困難の克服や産業化につなげることが求められている。

本セッションでは、新高温超電導物質、バルクでは実現できないヘテロ界面を利用した電子・イオン機能、特異的なナノ構造に起因した新機能、計算による機能設計などに注目し、これらの分野で挑戦的研究を行い、国際的成果をあげられている方々を招き、本技術分野の将来について議論を行いたい。

B.ナノ触媒材料, C.生体模倣触媒

21世紀に入って、これまでのような先端研究だけを意識した開発研究は許されなくなっている。特に循環型社会関連六法の成立に伴い、今後はリデュース、リユース、リサイクルのような3Rに配慮した環境負荷の少ない材料の選定が重要な課題となっている。このような素材として最近、今まで以上に生物機能が注目されている。中でも生体系金属錯体は生体中のエネルギー変換・物質変換・情報変換や輸送などのプロセスの要所で重要な機能を果たしており、低環境負荷材料を考えたときこれらを利用した材料開発研究の推進は一刻を争うものである。

本セッションでは、生体系反応場を意識した観点から、物質変換・エネルギー変換・センサー等の開発を基礎研究から応用研究までを行っている研究者を招き、本分野の現状と将来について議論できる場を提供する。

  • 先端機能材料
    • 基調講演 透明酸化物の研究から生まれつつある新領域と応用(東工大フロンティア研究センター・教授)細野 秀雄
    • 招待講演 原子スイッチとナノイオニクス(物材機構WPIセンター・拠点長)青野 正和
    • 招待講演 光で駆動するプラスチックモーター(東工大資源研・教授)池田 富樹
    • 招待講演 酸化物半導体と有機物の界面機能化と量子デバイス(東北大WPI・教授)川崎 雅司
    • 招待講演 超電導物質の探索(広島大院工・教授)山中 昭司
    • 依頼講演 ぺロブスカイト型酸化物の構造・電子状態の制御とその機能・物性探究(京大化研)島川 祐一
    • 依頼講演 酸化物ナノシートの精密累積と応用(物材機構)佐々木 高義
    • 依頼講演 有機強誘電体の新展開(産総研光技術)堀内 佐智雄
    • 依頼講演 SrTiO3結晶に閉じ込められた二次元電子の巨大熱電効果(名大院工)太田 裕道
    • 依頼講演 ナノクラスターの新機能(東北大WPI)谷垣 勝己
    • 依頼講演 液晶性半導体の薄膜化と電界効果型トランジスターへの応用(東大院工)舟橋 正浩
    • 依頼講演 ボトムアッププロセスによる常温動作単電子デバイス(東工大院理工)真島 豊
  • ナノ触媒材料
    • 基調講演 メソ多孔体合成の新展開とナノ材料としての可能性(早大理工・教授)黒田 一幸
    • 招待講演 3次元構造・粒子形態制御による高機能ナノ構造触媒の創出(東大院工・教授)水野 哲孝
    • 招待講演 表面上の触媒活性構造の解析法と機能創出(分子研・准教授)唯 美津木
    • 招待講演 水中で水素を活性化するアクアナノ触媒(九大未来化セ・教授)小江 誠司
    • 招待講演 ナノ空間における触媒場設計(九大院理・教授)北川 宏
    • 招待講演 Metal-organic framework material - potential use in chemical industry(BASF)Ulrich Mueller
    • 依頼講演 環境調和型有機合成反応に展開できる複合系ナノ粒子触媒の開発(阪大院基礎工)實川浩一郎
    • 依頼講演 金属錯体ナノ空間が触媒する高分子合成(京大院工)植村 卓史
    • 依頼講演 蛋白質複合体を基盤するナノ触媒設計(京大物質-細胞統合システム拠点)上野 隆史
    • 依頼講演 カーボンナノ空間を用いた物質創製(名大理)北浦 良
  • 生体模倣触媒
    • 基調講演 持続性社会を目指した錯体触媒による化学エネルギーと電気エネルギーの相互変換反応の開発(分子研・教授)田中 晃二
    • 招待講演 エネルギー変換酵素と触媒:理想と現実を繋ぐ課題と展望(九大先導研・教授)成田 吉徳
    • 招待講演 ビタミンB12酵素機能を有するバイオインスパイアード触媒の創製と環境浄化触媒としての応用(九大院工・教授)久枝 良雄
    • 招待講演 水の分解触媒作用を有する金属多核錯体の合成と機能評価(九大院理・教授)酒井 健
    • 招待講演 生体機能を可視化する分子プローブのデザイン・合成・生物応用(阪大院工・教授)菊地 和也
    • 招待講演 実用的な触媒としての利用を目ざしたシトクロムP450の改良(東農工大院工・准教授)中村 暢文
    • 依頼講演 均一系触媒を用いた二酸化炭素からメタンへの変換(理研基幹研究所)松尾 司
    • 依頼講演 生体系金属酵素反応場を規範とした酸化触媒の設計(名工大院工)増田 秀樹
    • 依頼講演 生体触媒の制約を超える人工加水分解触媒(岡山大院自然科学)押木 俊之
    • 依頼講演 金属-硫黄クラスターを用いた窒素固定(東大生産)溝部 裕司